题名：基于原子力显微术的5 nm台阶高度标准物质溯源与定值技术研究

作者：施玉书;李伟;余茜茜;景蔚萱;胡晓东;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.19650/j.cnki.cjsi.J2006036

注册时间：2020-05-29 18:50:38

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