题名：压电驱动串级菱形位移放大微定位平台的设计

作者：徐方超;魏恒志;孙凤;陆鹤;李强;

来源：

出版机构：同方知网（北京）技术有限公司

出版年:

DOI码：10.19650/j.cnki.cjsi.J1804264

注册时间：2019-03-06 16:02:49

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